チタンターゲット 主に集積回路、フラットパネルディスプレイなどのエレクトロニクスおよび情報産業、およびガラス裝飾コーティングやホイール裝飾コーティングなどの室內裝飾および自動車産業の裝飾コーティングで使用されます。さまざまな業界における Ti ターゲットの要件も大きく異なります。純度、微細構造、溶接性能、寸法精度の點で、具體的な要件は次のとおりです。
1. 純度: 非集積回路の場合: 99.9%;集積回路の場合: 99.995%、99.99%。
2. 微細構造: 非集積回路の場合: 平均粒徑は 100μm 未満です。集積回路用: 平均粒徑は 30μm 未満、超微細粒子の平均粒徑は 10μm 未満です。
3. 溶接性能: 非集積回路の場合: ろう付け、モノリシック。集積回路用: モノリシック、ろう付け、拡散溶接。
4. 寸法精度: 非集積回路の場合: 0.1mm。非集積回路の場合: 0.01mm。
